Tehnologia de măsurare a vidului este o componentă critică a științei și tehnologiei vidului, cu cerințe tot mai mari atât în sectorul apărării, cât și în cel civil. Măsurarea cu precizie a presiunii de vid este deosebit de importantă. Vacuometrele sunt utilizate pe scară largă în producția industrială, echipamentele semiconductoare, industria nucleară și alte domenii. Producătorii de vacuometru renumiți la nivel mondial includ MKS Instruments și INFICON. Există două tipuri comune de vacuometre pe baza principiilor lor de funcționare: unul este vacuometrul de capacitate metalică, reprezentat de abordarea tehnică a MKS, iar celălalt este vacuometrul de capacitate ceramică, reprezentat de abordarea tehnică a INFICON. În general, vacuometrele de capacitate metalică oferă performanțe mai bune decât modelele de capacitate ceramică, ceea ce le face mai larg adoptate.
Elementul senzor al unui vacuometru de capacitate metalică constă dintr-o structură capacitivă formată dintr-o diafragmă metalică de aproximativ 40 μm grosime și un electrod ceramic. După cum se arată în figurile de mai sus, diafragma metalică este întinsă cu o forță mare de tensiune înainte de a fi sudată, creând o structură capabilă să reziste la presiuni de suprasarcină de până la sute de ori intervalul nominal. Când presiunea de vid este aplicată pe diafragmă, aceasta se deformează, modificând capacitatea dintre electrodul cu diafragmă metalică și electrodul ceramic. Măsurând această modificare a capacității și calibrând-o față de referințele standard ale presiunii de vid, poate fi determinată valoarea absolută a vidului. Pentru a îmbunătăți acuratețea măsurării, un getter este plasat în interiorul cavității.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. a dezvoltat independent vacuometrul VG750, obținând performanțe comparabile cu produsele MKS și INFICON. Acesta acoperă o gamă de măsurare de la 1 Torr la 1000 Torr și a fost adoptat pe scară largă în aplicații în loturi din industria semiconductoarelor și nucleară. Specificațiile sale de performanță sunt enumerate în tabelul de mai jos. Părțile interesate sunt binevenite să ne contacteze pentru utilizare de probă.
Pentru mai multe informații, vă rugăm să vizitați site-ul nostru:mihuitec.com sau consultați pagina produsului: China VG750 Metal Capacitive Diafragm Gauge Producători Furnizori Fabrică - Cotație - Mihui Tech.
